真空法兰是一种专门用于真空系统中的连接装置，用于连接管道、设备或真空室，以形成一个密封的真空环境。以下是真空法兰的关键特性和应用：
结构组成
法兰盘：连接管道或设备的部分。
垫片：位于法兰盘之间，提供密封效果。
螺杆：用于将法兰盘紧固，形成密封。
工作原理
通过外力使两个法兰相互握紧，利用垫片实现密封，防止气体或液体泄漏。
应用领域
半导体工业：在芯片制造过程中使用，进行真空清洁、沉积和蚀刻。
科学和工业应用：用于连接真空室、管道与真空泵，方便进行真空维护、监控和操作。
核心特点
材质：通常由不锈钢（如304不锈钢）制造，耐腐蚀且高强度。
密封性：设计用于保持高真空度，防止气体或液体泄漏。
维护性：易于清洁和维护，支持实时监控。
标准化：存在不同的法兰标准，如CF（Conflat Flang）法兰，适用于超高真空环境。
注意事项
防止泄漏：在连接时选择合适的垫片以确保良好的密封效果。
真空法兰是真空技术中不可或缺的组件，对于保持系统的真空状态至关重要