超纯水的标准主要涉及以下几个方面：
电阻率：
超纯水的电阻率应达到18.2MΩ·cm（25℃）。一些资料也提到，在25℃时，超纯水的电阻率一般约为15~18MΩ·cm。
离子含量：
超纯水中的离子含量应接近无，除了水分子外，几乎没有其他杂质。
有机物含量：
超纯水中的总有机碳（TOC）应小于1ppb。
微生物含量：
超纯水中的细菌数量应小于1个/mL（或1CFU/mL）。
溶氧量：
超纯水中的溶氧量应小于5μg/L。
金属离子含量：
超纯水中的金属离子（如钠、氯、铁等）含量应达到PPT（parts per trillion）或亚PPT级别。
颗粒含量：
超纯水中的微粒（直径大于1微米）数量应每1毫升内含量为1~2个。
这些标准确保了超纯水在实验室和高精度要求的工艺中的应用，能够有效避免由于水中的杂质引起的实验误差和产品质量问题。建议在实际应用中，超纯水应现取现用，以保持其高电阻率和纯度。