臭氧浓度主要受以下因素影响：
臭氧发生器的结构和加工精度：
臭氧发生器的结构和加工精度越高，其产生的臭氧浓度也越高。
冷却方式和条件：
有效的冷却系统可以防止臭氧发生器过热，从而提高臭氧的产量和浓度。冷却方式和条件不佳会导致臭氧浓度下降。
驱动电压和驱动频率：
驱动电压和频率的增加通常可以提高臭氧的产量，但过高的电压和频率也可能导致臭氧分解，反而降低浓度。
介电体材料：
介电体材料的选择对臭氧的产生效率和浓度有重要影响。石英介电体因其稳定性高，常用于高效臭氧发生器。
原料气体中氧的含量及洁净和干燥度：
原料气体中氧的含量越高，且气体洁净干燥，有利于提高臭氧的产量和浓度。
发生器电源系统的效率：
电源系统效率高，热量转化少，有助于提高臭氧的产量和浓度。
腔体温度：
腔体温度对臭氧的衰减有显著影响。臭氧在30度左右时会在1分钟内衰减一半，在40~50℃时衰减达到80%，超过60℃臭氧会马上分解。
太阳辐射：
太阳辐射强度和紫外辐射的强弱直接影响臭氧的生成。在大气平流层，紫外辐射强，有利于臭氧的生成；而在低层大气，紫外辐射弱，不利于臭氧的生成。
气象条件：
气象要素如温度、湿度、风速和风向等都会影响臭氧的产生、传输和稀释。例如，晴天少云的气象条件有利于臭氧浓度升高，而风场会影响臭氧及其前体物的传输。
人类活动：
人类活动产生的含碳、氢、氯和氮的化学物质（如氧化亚氮、水蒸汽、四氯化碳、甲烷和氯氟烃等）在大气中通过光化学反应消耗臭氧，导致臭氧浓度下降。
大气成分：
大气中的其他成分如NOx、VOCs等也会与臭氧发生反应，影响臭氧的浓度。
综上所述，臭氧浓度受多种因素影响，从臭氧发生器的结构和操作条件到大气成分和气象条件等。在实际应用中，需要综合考虑这些因素，以优化臭氧的产生和控制。