高纯氮气是指 纯度在99.999%以上的氮气，不含任何有害杂质。这种高纯度的氮气在生产和使用过程中需要更为严格的检测和控制。高纯氮气在半导体制造、光学材料、食品加工等领域应用广泛，而普通氮气则主要用于气体焊接、冶金等方面。
从纯度等级细分来说：
工业上，纯度为99.9%的氮气被称为普氮。
当纯度达到99.99%以上，被称为高纯氮。
通常高纯氮气的纯度在99.99% - 99.999%之间。
还有超高纯氮气，纯度要求更高，能达到99.9999%及以上。
高纯氮气的主要用途包括：
半导体制造：在半导体制造过程中，高纯氮可以用作惰性气体，防止氧化和污染。
光学材料：高纯氮气在光学材料的制备和应用中起到关键作用。
食品加工：高纯氮气用于食品包装和加工，以确保食品的卫生和安全。
医药领域：高纯氮气在医药行业的实验室和生产线中有着重要应用。
特殊领域：超高纯氮气用于半导体行业的洁净室、光学镀膜、高精密实验等。
高纯氮气的生产方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。检测氮气纯度的方法包括气相色谱法、热导法、质谱法等。