分子泵是一种利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度并被压缩驱向排气口的真空泵。它广泛应用于多个领域,包括但不限于:
光伏、照明、宇航、半导体、能源、激光、电子、汽车 等各个行业。材料科学:
用于制备纳米材料如纳米颗粒、纳米管等,提供高真空环境以控制气体污染,获得高质量材料。
表面科学:
用于表面清洁和高纯度表面获得,去除表面上的气体和杂质,以便更准确地研究表面及其特性。
真空冷却:
在物理学实验中,通过高真空环境抽取气体实现物体温度的降低。
真空机械制造:
在制造半导体设备和高精度仪器时,确保机械部件的质量和性能。
核物理学研究:
提供高真空环境以进行粒子束加速和研究,减少空气阻力对粒子束加速的干扰。
分析领域:
如质谱分析、电子显微镜等,为高精度的物质分析提供高真空环境。
半导体产业:
在电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等制造过程中,满足高真空环境的严格要求。
在线四极质谱仪:
用于气体组分的在线分析,广泛应用于多个领域。
高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度的制造工艺中。
分子泵以其卓越的抽气效率和稳定的工作性能,在科学研究和工业生产的许多领域发挥着关键作用。