SEM是 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）的英文缩写。它是一种利用聚焦电子束扫描样品表面来产生样品表面图像的电子显微镜。SEM由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成，广泛应用于生物、医学、材料和化学等领域。
SEM的基本工作原理是利用高能电子束对样品表面进行逐点扫描，通过检测电子与样品相互作用产生的各种信号，如二次电子、背散射电子和X射线等，来获取样品表面的形貌、成分和结构信息。与光学显微镜相比，SEM具有更高的放大倍数和分辨率，可达到纳米级别，使我们能够观察到样品表面的精细结构，如纳米颗粒、病毒、细胞器等。
此外，扫描探针显微镜（SPM）是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜AFM，激光力显微镜LFM，磁力显微镜MFM等等）的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器，具有极高的分辨率，实时、实空间、原位成像，对样品无特殊要求，可在大气、常温环境甚至是溶液中成像，同时具备纳米操纵及加工功能。