根据提供的信息，以下是光电刻蚀专业大学排名的一些参考信息：
华中科技大学- 7★ 世界知名高水平学科。
浙江大学- 7★ 世界知名高水平学科。
北京理工大学- 6★ 世界高水平、中国顶尖学科。
清华大学- 6★ 世界高水平、中国顶尖学科。
天津大学- 6★ 世界高水平、中国顶尖学科。
电子科技大学- 在多个排名中表现突出。
哈尔滨工业大学- 在多个排名中表现突出。
复旦大学- 在多个排名中表现突出。
南京理工大学- 在多个排名中表现突出。
北京交通大学- 在多个排名中表现突出。
请注意，排名可能会根据不同的评估标准和时间点有所变化。建议查看最新的官方排名信息或教育机构的最新公告以获得最准确的排名数据