截至2024年，微机电系统工程专业排名前10名的大学依次为：
1. 清华大学（排名第1）
2. 哈尔滨工业大学（排名第2）
3. 上海交通大学（排名第3）
4. 华中科技大学（排名第4）
5. 北京理工大学（排名第5）
6. 天津大学（排名第6）
7. 大连理工大学（排名第7）
8. 浙江大学（排名第8）
9. 西安交通大学（排名第9）
10. 北京航空航天大学（排名第10）
建议：
清华大学、哈尔滨工业大学、上海交通大学等高校在微机电系统工程专业方面具有很高的教学水平和研究实力，是报考该专业的优选院校。
西北工业大学和北京航空航天大学在微机电系统工程专业中表现突出，尤其是西北工业大学在多个排名中均位列第一，显示出其在该领域的领先地位。
根据个人兴趣、研究方向和职业规划，可以选择适合自己的高校进行报考。