曲率测量方法

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曲率测量方法求高手给解答
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单光点线扫描法是一种比较成熟的薄膜曲率半径测量方法,测量光束经过形变的样品表面反射,再经过光程放大后,采集偏移的位置从而计算样品的等效曲率半径,但是单光点线扫描法需要测量多组(通常大于10组)数据后才可以计算一次曲率半径值,单次测量用时大于20秒,而且多组测量数据容易受到如环境振动等干扰,从而影响测量结果。

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