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pecvd是什么工艺
问题描述
pecvd是什么工艺急求答案，帮忙回答下
- 精选答案
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基本原理是:
PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。
本文标题：pecvd是什么工艺
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