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压强传感器是利用什么的压阻效应
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压强传感器是利用什么的压阻效应求高手给解答
- 精选答案
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压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。
采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化，再由桥式电路获相应的电压输出信号。
本文标题：压强传感器是利用什么的压阻效应
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