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硅片的制备
问题描述
硅片的制备，麻烦给回复
- 精选答案
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单晶硅的制备先是拉单晶，硅单晶棒有直拉法（CZ法）和区熔法两种
硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光，以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产
- 其他回答
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1.与焦炭在电炉中高温，生成粗硅
2.粗硅和Cl2反应，生成SiCl4
3.对SiCl4进行精馏，得纯SiCl4
4.将纯SiCl4与H2在1200°C进行反应，得纯Si
这就是高纯度单晶硅的制取步骤
本文标题：硅片的制备
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