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氦检测原理
问题描述
氦检测原理希望能解答下
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氦检测原理是指全称为氦质谱检漏，其核心是用质谱分析法测定氦的分压，检漏时用氦气作为探索气体，当氦气通过漏孔进入检漏仪中后，使仪器内氦的分压明显增加，从而指示了漏孔的存在，氦检由于检漏灵敏度高、反应快、适应性强，在真空产品的检漏中得到了广泛的应用。
应用氦质谱检漏仪进行检漏时，由于被检件的结构、大小及气密性要求不一样，所以被检件与检漏仪之间的连接方式、对被检件的施氦方法也不同，这样就产生了各种具体的检漏方法。
本文标题：氦检测原理
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